我国开发新式飞秒激光等离子激元光刻技能 可加工石墨烯

我国开发新式飞秒激光等离子激元光刻技能 可加工石墨烯
10日,记者从中科院长春光学精密机械与物理研讨所得悉,来自该所等单位的研讨人员,开发了一种新式飞秒激光等离子激元光刻技能。使用该技能,研讨人员在百纳米厚的硅基氧化石墨烯薄膜外表完成了高质量微纳周期结构的快速制备。相关效果宣布在《光:科学与使用》上。石墨烯被发现以来,二维资料逐步进入人们视界,成为资料范畴的研讨热门。自拼装、电子束刻蚀和极紫外光刻等技能能够在石墨烯上制备微纳结构,从而调控其带隙、吸收、载流子迁移率等功能。但这些技能存在着耗时长、本钱高、缺少通用性等问题。因而,怎么降低本钱,高效制备微纳结构石墨烯,是现在需求处理的重要问题。飞秒激光加工技能凭借着超高峰值功率和超短脉冲持续时间的共同优势,被广泛使用于多种资料的超精纤细纳加工范畴。但是,以激光直写为例,尽管其精度很高,但在超精纤细纳制备上,功率仍有待进步。一起确保加工精度和加工功率是该技能需求处理的首要问题之一。“怎么使用灵敏简洁的加工手法处理加工精度和加工功率问题是拓展飞秒激光实用化的关键所在。”中科院长春光学精密机械与物理研讨所研讨员杨建军说。研讨初次证明了FPL技能在二维薄膜资料上能够完成大面积高质量亚微米周期结构的快速制备。得益于飞秒激光的非线性光学特色,FPL技能加工进程不易受资料外表缺点、杂质等要素的影响,加工基底也不易遭到资料品种的约束。加工资料体现出了优异的机械功能,能够使用传统的湿搬运法进行完好搬运。这为相关资料周期性微纳结构的灵敏制备奠定了根底。[ 责编:张梦凡 ]